Lamtech平面度測量?jì)x廣泛用于測量導軌的直線(xiàn)性、精密平板的平面度、基面之間的垂直度和平行度、精密軸系的晃動(dòng)誤差等；同時(shí)還可以來(lái)測量各種棱鏡的角度差和平鏡的平行差以及測量檢驗各種棱鏡、平鏡與裝配基準面之間的角度誤差。該儀器主要用于小角度的精密測量，如多面棱體的檢定。也可測量高精度導軌等精密零件的直線(xiàn)性、平行性、垂直性及相對位置。
Lamtech平面度測量?jì)x的用法是平晶干涉法，用光學(xué)平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值，但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規的工作面，光學(xué)透鏡。激光干涉儀現因其體積小，重量輕、無(wú)需外接電源的特點(diǎn)被廣泛地應用在光學(xué)加工企業(yè)，光學(xué)檢測機構以及其他要進(jìn)行光學(xué)表面檢測的場(chǎng)合。在機械行業(yè)和儀表制造中,用于測量相對于水平位置的傾斜角、機床類(lèi)設備導軌的平面度和直線(xiàn)度、設備安裝的水平位置和垂直位置等。按水平儀的外形不同可分為：框式水平儀和尺式水平儀兩種；按水準器的固定方式又可分為：可調式水平儀和不可調式水平儀。
Lamtech平面度測量?jì)x打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線(xiàn)方向進(jìn)行測量。打表測量法按評定基準面分為三點(diǎn)法和對角線(xiàn)法：三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距最遠的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評定基準面，實(shí)測時(shí)先將被測實(shí)際表面上相距最遠的三點(diǎn)調整到與標準平板等高；對角線(xiàn)法實(shí)測時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對角線(xiàn)調整到兩兩等高。然后用測微計進(jìn)行測量，測微計在整個(gè)實(shí)際表面上測得的最大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。