3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀利用白光干涉來(lái)測量納米級至微米級的表面形貌，并且具有業(yè)界大視場(chǎng)下的高垂直分辨率。儀器具備多種倍率物鏡（1.25倍-100倍），可以表征具有不同表面形狀和結構的樣品。而且在任何放大倍數下，系統的縱向范圍都能夠達到亞-埃至毫米級。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀使測量結果不管在科研還是工業(yè)環(huán)境中都具有超高的可靠性和可重復性。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀簡(jiǎn)潔的操作界面通過(guò)對測量和數據獲取過(guò)程的簡(jiǎn)化大大提高了系統和人力效率；的可視工作流程工具提供了直觀(guān)的分析選項。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀可廣泛的應用于：機械，光伏材料，電子材料，航空航天，光學(xué)材料和醫療器械等領(lǐng)域。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀的傾斜測量頭為用戶(hù)提供了的靈活性，實(shí)現快速測量和觀(guān)察。通過(guò)在在顯微鏡頭中結合頭部?jì)A斜功能，光學(xué)輪廓儀這一技術(shù)實(shí)現了將觀(guān)察位置保持在焦平面處，為用戶(hù)實(shí)際使用時(shí)帶來(lái)了很大便利。
準確追蹤和使用的簡(jiǎn)便性對于在不同表面上快速檢測是至關(guān)重要的，這樣在批量測試時(shí)速度也大大提高。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀的功能：
1)一體化操作的測量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預先設置好配置參數再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實(shí)現批量測量功能。
2)測量中提供自動(dòng)多區域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化功能。
3)測量中提供拼接測量功能。
4)分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過(guò)濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖面等功能。